應(yīng)用鄰域:用于玻璃減薄制程工藝中殘留于噴淋設(shè)備噴頭中氟化物殘渣的去除,工藝要求45℃ 噴淋式。清洗后表面乾浮無殘留,藥液清洗快速無安全性問題。
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